根据用途的不同，可选用多种构造的等离子清洗设备，并可通过选用不同种类的气体，调整装置的特征参数等方法使工艺流程实现佳化，但等离子体清洗装置的基本结构大致是相同的，一般装置可由真空室、真空泵、高频电源、电极、气体导入系统、工件传送系统和控制系统等部分组成。通常使用的真空泵是旋转油泵，高频电源通常用13.56M赫兹的无线电波，设备的运行过程如下： 

　　（1）被清洗的工件送入真空室并加以固定，启动运行装置，开始排气，使真空室内的真空程度达到10Pa左右的标准真空度。一般排气时间大约需要2min。 

　　（2）向真空室引入等离子清洗用的气体，并使其压力保持在100Pa。 

　　根据清洗材质的不同，可分别选用氧气、氢气、氩气或氮气等气体。 

　　（3）在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压，使气体被击穿，并通过辉光放电而发生离子化和产生等离子体。让在真空室产生的等离子体完全笼罩在被处理工件，开始清洗作业。一般清洗处理持续几十秒到几分钟。 

　　（4）清洗完毕后切断高频电压，并将气体及汽化的污垢排出，同时向真空室内鼓入空气，并使气压升至一个大气压。烟台速顺自动化设备有限公司凭借多年的专业制造经验及对产品的不断完善、不断创新，在保有高品质洗车及风干效果的前提下，我公司推出了具有国外品质、国产价格的全自动电脑洗车设备。

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